[发明专利]位移测量装置以及使用该装置的形状检查装置无效
| 申请号： | 200610127088.9 | 申请日： | 2006-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN1940469A | 公开（公告）日： | 2007-04-04 |
| 发明（设计）人： | 田沼敦郎;中岛将行 | 申请（专利权）人： | 安立株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本243－8555*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种测量技术，借由具备可根据被测量物上的测量点的形状而从不同角度检测出正反射的光的复眼功能的光传感器，其不仅测量顶点或平坦面的位移也测量斜面的位移。其具备多个受光部(200)、(210)、(220)，利用投光部(100)，使光在被测量物上的测量点聚光，接收来自测量点的正反射的反射光，多个受光部在包括所照明的光并与大致垂直于被测量物的平面交叉的方向上，以测量点为轴大致排列为扇形，且各受光部的受光面所占据的可从测量点接收光的受光范围，以邻接的受光部的受光面彼此相连续的方式而配置。 | ||
| 搜索关键词： | 位移 测量 装置 以及 使用 形状 检查 | ||
【主权项】：
1、一种位移测量装置，包括：光源；聚光透镜，通过使从该光源射出的光聚光于被测量物上而将聚光的位置作为测量点而照射；受光透镜，接收来自上述被测量物的以上述测量点对称地进行正反射的光；以及受光元件，接收在该受光透镜聚光的光，该位移测量装置根据上述受光元件的受光面上的受光位置，检测上述测量点上的上述被测量物的位移，其特征在于：由上述受光透镜与上述受光元件形成受光部，且以上述测量点为中心包括多个上述受光部。
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