[发明专利]处理底材的机器及方法有效

专利信息
申请号: 200610127297.3 申请日: 2006-09-21
公开(公告)号: CN1986872A 公开(公告)日: 2007-06-27
发明(设计)人: 埃尔坎·科帕尔;迪特尔·哈斯 申请(专利权)人: 应用材料有限责任与两合公司
主分类号: C23C14/14 分类号: C23C14/14;C23C14/50;H01L21/673
代理公司: 北京邦信阳专利商标代理有限公司 代理人: 王昭林;崔华
地址: 德国阿*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 一种用于处理底材S的机器(1)包括:一个输入区域(6),至少一个第一处理腔(2),一个第二处理腔(3),一个第三处理腔(4)及一个实施第四处理腔(8)以用于执行处理,例如为需要涂层的底材S涂覆涂层,以及一个输出区域(7)。所述四个处理腔(2)、(3)、(4)及(8)与中央传送腔连接,第一处理腔(2)与第四处理腔(8)位于锁定腔(6)或(7)之一与中央传送腔(5)之间,呈串联连接。第二处理腔(3)及第三处理腔(4)并联连接且相互独立地与中央传送腔相通。处理方法包括下述阶段:a)输入底材至机器(1);b)传送底材S至第一处理腔(2)且实施实施第一处理阶段;c)传送底材S至中央传送腔(5);d)选择地传送底材S至第二处理腔(3)或第三处理腔(4),并实施第二处理阶段;e)传送底材S至中央传送腔(5);及g)从机器(1)输出底材S。
搜索关键词: 处理 机器 方法
【主权项】:
1.处理底材的机器(1),包括:至少一个第一处理腔(2),一个第二处理腔(3)及一个为实施第一处理阶段的第三处理腔(4),一个至少与所述3个处理腔(2、3、4)连接的中央传送腔(5),一个将底材(S)输入机器(1)或从机器(1)输出的第一锁定区域(6),其特征在于:第一处理腔(2)排列在第一锁定区域(6)及中央传送腔(5)之间,与第一锁定区域(6)及中央传送腔(5)串联连接,第二处理腔(3)及第三处理腔(4)与中央传送腔(5)连接并且相互可独立进入。
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