[发明专利]制造用于平板显示器彩色滤光片的像素矩阵的方法和设备无效

专利信息
申请号: 200610127593.3 申请日: 2006-09-19
公开(公告)号: CN1959449A 公开(公告)日: 2007-05-09
发明(设计)人: 约翰·M·怀特;上泉元;叶雁;周里归 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: G02B5/23 分类号: G02B5/23;G03F7/20;H01L21/00
代理公司: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 代理人: 赵飞
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明提供了一种形成像素矩阵的方法和设备。该方法包括用像素矩阵材料涂覆衬底,用疏墨水性材料涂覆像素矩阵材料,在像素矩阵材料和疏墨水性材料中形成像素井。提供一种用于形成像素矩阵的系统,其包括包含激光烧蚀系统的图案化工具,该工具可操作地在涂覆有疏墨水性材料的像素矩阵材料中形成像素井。激光烧蚀系统可操作在含氧环境下在涂覆有疏墨水性材料的像素矩阵材料中形成像素井,使得像素矩阵的侧壁制成亲墨水性的。本发明还包括像素井结构,其中,像素井的顶面是疏墨水性的,侧壁面是亲墨水性的。还提供了许多其它方面。
搜索关键词: 制造 用于 平板 显示器 彩色 滤光 像素 矩阵 方法 设备
【主权项】:
1.一种形成像素矩阵的方法,包括:用像素矩阵材料涂覆衬底;用疏墨水性材料涂覆所述像素矩阵材料;在所述像素矩阵材料和所述疏墨水性材料中形成像素井。
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