[发明专利]用于生产结构的模具、印痕设备以及工艺有效
| 申请号： | 200610128192.X | 申请日： | 2006-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN1928712A | 公开（公告）日： | 2007-03-14 |
| 发明（设计）人： | 末平信人;关淳一 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/16;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 范莉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 为了减轻或抑制在不期望发生可光致固化的树脂材料的固化的区域中可光致固化的树脂材料的固化，借助于具有印痕图案部分和无图案部分的模具，通过设有遮光元件的无图案部分抑制可光致固化的树脂材料的曝光，或者通过设置遮光元件以便于不会由未通过模具的光线照射可光致固化的树脂材料而抑制可光致固化的树脂材料的曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 生产 结构 模具 印痕 设备 以及 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种用在印痕设备中的模具，在所述印痕设备中，通过下列方式对一待加工的可光致固化的元件进行加工：在使得模具与待加工的元件相接触的状态下，利用用于固化待加工的元件的光线照射将要通过具有印痕图案的模具而加工的可光致固化的元件，所述模具包括：具有印痕图案的加工侧；与所述加工侧相对的后侧；以及未提供印痕图案的无图案部分；其中，所述模具还包括设在所述无图案部分处的遮光元件，用于减少透过所述无图案部分照射待加工元件的光量。
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