[发明专利]基板处理装置、负载锁定室单元和搬送装置的搬出方法有效
| 申请号： | 200610128924.5 | 申请日： | 2006-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN1924660A | 公开（公告）日： | 2007-03-07 |
| 发明（设计）人： | 中込阳一;中山秀树 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板处理装置(1)，不受设置搬送室内搬送装置场所高度的限制而将其搬出基板处理装置外面，其包括：真空中对基板S实施规定处理的处理室(10a～10c)；与处理室相连接，保持在真空中并具有搬送基板S的搬送装置(50)的搬送室(20)；和设置在搬送室(20)和大气侧基板收容室(40)之间的负载锁定室(30)，其中，在负载锁定室(30)下方具有空间(310)，搬送装置(50)可分成上部结构(500A)和下部结构(500B)，上部结构(500A)可从搬送室(20)上方搬出到基板处理装置外，下部结构(500B)可从搬送室(20)下侧通过负载锁定室(30)下面的空间(310)搬出到装置外。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 负载 锁定 单元 搬出 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理装置，其特征在于，包括：在真空中对基板实施规定处理的处理室；与所述处理室相连接，被保持在真空中，并具有向所述处理室中搬入基板的搬送装置的搬送室；以及设置在所述搬送室和在大气侧的基板收纳容器之间，在与大气侧之间传递基板时被保持在大气压附近，在与所述搬送室之间传递基板时被保持在真空状态下的负载锁定室，其中，在所述负载锁定室的下方存在有空间，所述搬送装置能够分成上部结构和下部结构，所述上部结构能够从所述搬送室的上方搬出到基板处理装置外，所述下部结构能够从所述搬送室的下侧，通过所述负载锁定室的下方的空间搬出到基板处理装置外。
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