[发明专利]搬送室、基板处理装置和基板异常的检测方法无效
| 申请号： | 200610128960.1 | 申请日： | 2006-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN1929108A | 公开（公告）日： | 2007-03-14 |
| 发明（设计）人： | 冈部星儿;末木英人 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67;H01L21/66;B65G49/06;G01D5/34 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够对大型FPD基板在搬送室内的位置偏移和缺口等异常可靠地进行检测的基板处理装置和一种基板异常的检测方法。将基板(S)载置在搬送装置(50)的滑动拾取器(513)上，从搬送室(20)内经过闸门开口(22d)向处理腔室(10b)搬入时，由左右配置的一对传感器(70、70)向基板(S)两端部附近的虚线(A、B)表示的部位照射光线，根据其反射率或透过率，对基板(S)的位置偏移和缺陷等进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 搬送室 处理 装置 异常 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种搬送室，与对矩形基板进行规定处理的处理室邻接配置，具有向该处理室搬送基板的搬送装置，其特征在于，包括：搬入搬出由所述搬送装置搬送的基板的开口部；与所述开口部对应，在其附近以比基板的宽度窄的间隔配置的一对光学传感器。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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