[发明专利]研磨垫及研磨装置无效
| 申请号： | 200610129056.2 | 申请日： | 2006-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN1943993A | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 中畑政臣 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | B24D17/00 | 分类号： | B24D17/00;B24B29/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨垫及研磨装置，其在谋求研磨垫的长寿命化和提高面内均匀性的同时，可以防止被研磨物贴附在研磨垫上。所述研磨垫包括：一面为研磨面(22)、另一面为支持面(23)的板状的垫主体(21)；以及多个孔部(30)，该孔部由多个长孔(31)组合而成，所述长孔(31)是从研磨面(22)至支持面(23)贯通该垫主体(21)、并沿研磨面(22)的面方向中的多个不同方向延伸设置而成的。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
【主权项】：
1.一种研磨被研磨物的研磨垫，其特征在于，该研磨垫包括：一面为研磨面、另一面为支持面的板状的垫主体；以及多个孔部，该孔部由多个长孔组合而形成，所述长孔是从所述研磨面至所述支持面贯通所述垫主体、并沿所述研磨面的面方向中的多个不同方向延伸设置而成的。
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