[发明专利]气相轴向沉积装置及气相轴向沉积方法无效
| 申请号： | 200610129070.2 | 申请日： | 2006-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN1951848A | 公开（公告）日： | 2007-04-25 |
| 发明（设计）人： | 金镇杏;李皓镇;都文显;成在铉;金允镐 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王新华 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气相轴向沉积装置。所述气相轴向沉积装置包括：第一喷灯、第二喷灯、温度测量单元以及控制器单元。所述第一喷灯在与垂直轴线成直线的烟灰预制棒的末端上沉积烟灰，从而长出纤芯。所述第二喷灯在所述纤芯的外周面上沉积烟灰，从而长出包覆层。所述温度测量单元探测所述烟灰预制棒的端部沿所述垂直轴线的温度分布。所述控制器单元确定探测到的温度分布中的第一和第二相对最高温度T1和T3以及T1和T3之间的相对最低温度T2，并控制T1使其处于预定的范围之内以及控制差值(T1－T2)和(T3－T2)中较大的一个使其不超过预定的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 轴向 沉积 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种气相轴向沉积装置，包括：第一喷灯，所述第一喷灯用于在与垂直轴线成直线的烟灰预制棒的末端上沉积烟灰，从而长出纤芯；第二喷灯，所述第二喷灯用于在所述纤芯的外周面上沉积烟灰，从而长出包覆层；温度测量单元，所述温度测量单元用于探测所述烟灰预制棒端部沿所述垂直轴线的温度分布；以及控制器单元，所述控制器单元用于确定探测到的温度分布中的第一和第二相对最高温度T1和T3，以及T1和T3之间的相对最低温度T2，并控制相对最大值(T1)和差值(ΔT)，其中，差值(ΔT)选自由(T1-T2)和(T3-T2)所构成的群组。
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