[发明专利]X射线或XUV射线发生装置无效
| 申请号： | 200610129176.2 | 申请日： | 2006-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN1959924A | 公开（公告）日： | 2007-05-09 |
| 发明（设计）人： | A·莱哈德 | 申请（专利权）人： | 科美特有限公司 |
| 主分类号： | H01J35/00 | 分类号： | H01J35/00;H05G1/00;H05G2/00;G01N23/223;G21K5/00 |
| 代理公司： | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 楼仙英 |
| 地址： | 德国加*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种按本发明的X射线或XUV射线发生装置2，它装有校准装置，用于校准在目标物16上的荷电粒子的基本粒子射线束12。按本发明的用于偏转基本粒子射线束12的偏转装置，使基本粒子射线束12的中心轴线18经过第一偏转点20和与第一偏转点20在射线方向具有距离的第二偏转点22，此时第一和第二偏转点20、22同在目标物16上的基本粒子射线束12的一个给定的或可给出的集聚点一起设置在该轴线上，同时基本粒子射线束通过偏转装置可在射线方向的一个偏转点20、22范围内偏转，它与其它偏转点22、20范围内基本粒子射线束12的偏转无关联。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 xuv 发生 装置 | ||
【主权项】：
1.一种X射线或XUV射线发生装置，它装有校准装置，用于校准在目标物上的荷电粒子的基本粒子射线束，它还装有用于偏转基本粒子射线束的偏转装置，使基本粒子射线束的中心轴线经过第一偏转点和在射线方向与第一偏转点具有距离的第二偏转点，其中偏转装置设有用于偏转基本粒子射线束的第一偏转单元，其中心轴线经过第一偏转点，偏转装置还设有用于偏转基本粒子射线束的与第一偏转单元在基本粒子射线束的射线方向具有距离的第二偏转单元，其中心轴线经过第二偏转点，其中基本粒子射线束通过偏转单元对一个偏转点的可偏转与对其它偏转点的偏转无关联，其特征在于，每个偏转单元(26、32)用于偏转沿着两条相互垂直的轴线(X轴线和Y轴线)构成的基本粒子射线束，这样第一和第二偏转点(20、22)同在目标物(16)上的基本粒子射线束(12)的一个给定的或可给出的集聚点(24)一起设置在轴线上。
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