[发明专利]光刻胶液制备方法及使用该光刻胶液的光刻胶膜

摘要

提供一种光刻胶液制备方法，该方法既可降低光刻胶液输送成本，又可避免使用按原样直接连接至现有LCD面板生产线的高价小型专用容器，并由此可以在总体上减少光刻胶液的供给成本。在该光刻胶液制备方法中，测定调合罐内液体的浓度或粘度中的至少一种，基于该测定结果通过调节原料液和溶剂的注入量而进行稀释控制，同时将通过稀释控制而得到的产品用光刻胶液在缓冲槽中贮存一定时间使其稳定化。

主权项

1.一种光刻胶液制备方法，通过向高浓度的原料液中加入溶剂而稀释至预期浓度，从而得到规定浓度的产品用光刻胶液，该方法包括如下步骤：混合搅拌所述高浓度原料液和所述溶剂以得到混合液的混合搅拌步骤；取出一部分所述混合液，测定该取出的混合液的光刻胶成分的浓度或粘度中的至少一种后，将取出的混合液返回至所述混合液中的浓度·粘度测定步骤；基于所述浓度·粘度测定步骤中得到的浓度或粘度中的至少一种的测定值，一边监视所述原料液或所述溶剂的混合量，一边将该混合液调节至预期浓度的调节步骤；将在所述调节步骤中已调节至预期浓度的混合液贮存一定时间以使浓度稳定下来而形成产品用光刻胶液的浓度稳定化步骤。