[发明专利]快速反应的微机械装置

摘要

一种空间光调制器，包括镜板，该镜板包括反射上表面，具有导电表面部分的下表面，和具有第一空腔、第二空腔以及在第二空腔上的膜的基板部分，该第一空腔在下表面上具有开口，该第二空腔在基板部分中。该调制器包括基板，该基板包括上表面，与上表面连接的枢纽支撑柱，由枢纽支撑柱支撑并与镜板相连以方便镜板旋转的枢纽组件，以及与基板的上表面连接的竖立着陆端。枢纽组件延伸到第一空腔中。竖立着陆端配置为接触镜板的基板部分内的第二空腔上方的膜以便镜在预定的方向上停止镜板的旋转。

主权项

1.一种空间光调制器，包括：镜板，包括反射上表面、具有导电表面部分的下表面、具有第一空腔和第二空腔以及在第二空腔上的膜的基板部分，其中第一空腔具有在下表面上的开口，第二空腔位于基板部分中；基板，包括：上表面、与上表面相连的枢纽支撑柱、以及由枢纽支撑柱支撑且与镜板连接以使镜板容易旋转的枢纽组件，其中枢纽组件配置为延伸到第一空腔中以使镜板容易旋转；以及竖立着陆端，连接到基板的上表面，其中竖立着陆端配置为接触镜板的基板部分内第二空腔上的膜，以便在预定的方向上停止镜板的旋转。