[发明专利]雾化蒸气压膜系统无效
| 申请号： | 200610131618.7 | 申请日： | 2006-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN1964600A | 公开（公告）日： | 2007-05-16 |
| 发明（设计）人： | 李澄文 | 申请（专利权）人： | 李澄文 |
| 主分类号： | H05K3/02 | 分类号： | H05K3/02;G03F7/20;G03F7/26 |
| 代理公司： | 长春市吉利专利事务所 | 代理人： | 王大珠 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种雾化蒸气压膜系统，属于化工机械类。压膜制程包含蒸气涂布，将以预热的基板传输至蒸气涂布装置，以便使基板达到所需的蒸气水份；压制干膜，将具有温度及蒸气的基板传输至压膜入口，基板藉由上滚轮及下滚轮将上干膜及下干膜压制在基板上；基板藉由蒸气涂布所雾化的蒸气水份，便可于压制干膜时将上干膜及下干膜填覆至基板本身的凹洞所用，使不因于蚀刻时所用的化学药水从干膜光阻剂未完全覆盖基板的凹洞处侧蚀，而造成断路或缺口。优点在于：增加基板压膜的覆盖性，基板不因蚀刻时所用的化学物质所侵蚀而造成断路或缺口；增加线路制造的良品率，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 雾化 蒸气 系统 | ||
【主权项】：
1、一种雾化蒸气压膜系统，其特征在于：压膜制程包含蒸气涂布，将以预热的基板传输至蒸气涂布装置，以便使基板达到所需的蒸气水份；压制干膜，将具有温度及蒸气的基板传输至压膜入口，基板藉由上滚轮及下滚轮将上干膜及下干膜压制在基板上。
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