[发明专利]一种纳米多层膜材料及提高多层膜结构高温稳定性的方法无效
| 申请号： | 200610131675.5 | 申请日： | 2006-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN1978190A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 郑伟涛;白晓明 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | B32B15/00 | 分类号： | B32B15/00;B32B33/00;B32B9/00;C23C30/00;C23C14/06 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 王恩远 |
| 地址： | 130012吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明的一种纳米多层膜材料及提高多层膜结构高温稳定性的方法属薄膜材料技术领域。其构成是在Ti/TiN或CrN/TiN的两层膜之间镀有非晶Si3N4间层，非晶Si3N4间层的厚度是0.6～1.0nm。采用在多层膜中加入的非晶Si3N4间层的方法，能有效限制多层膜层间扩散，达到提高多层膜结构高温稳定性的目的。可以利用多靶磁控溅射技术在基底上交替沉积得到纳米多层膜材料。本发明的方法可使涂层的硬度、弹性模量和断裂强度等力学性能在很大程度上得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 多层 材料 提高 膜结构 高温 稳定性 方法 | ||
【主权项】：
1、一种纳米多层膜材料，构成包括Ti/TiN或CrN/TiN多层膜，其特征在于，在Ti/TiN或CrN/TiN的两层膜之间有非晶Si3N4间层。
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