[发明专利]氮化物半导体元件有效

专利信息
申请号: 200610132281.1 申请日: 1999-03-10
公开(公告)号: CN1933201A 公开(公告)日: 2007-03-21
发明(设计)人: 谷沢公二;三谷友次;中河義典;高木宏典;丸居宏充;福田芳克;池上武止 申请(专利权)人: 日亚化学工业株式会社
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01S5/343
代理公司: 北京市中咨律师事务所 代理人: 段承恩;田欣
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 为了通过发挥使用多量子阱结构的有源层的特性,从而提高发光输出功率、扩大氮化物半导体发光元件的各种应用产品的适用范围,在具有多层氮化物半导体层的n侧区域与具有多层氮化物半导体层的p侧区域之间设有有源层的氮化物半导体发光元件中,在n侧区域和p侧区域的至少任意一方,形成有由两种氮化物半导体膜层叠而成的多层膜层。
搜索关键词: 氮化物 半导体 元件
【主权项】:
1.一种氮化物半导体元件,它是在具有多层氮化物半导体层的n侧区 域和具有多层氮化物半导体层的p侧区域之间具有有源层的氮化物半导体 元件,其特征在于: 上述n侧区域的至少一层氮化物半导体层,是将含In的第一氮化物半 导体膜和具有与该第一氮化物半导体膜不同组成的第二氮化物半导体膜层 叠而成的n侧多层膜层,并且,上述第一氮化物半导体膜或上述第二氮化 物半导体膜中的至少一方的膜厚为100或以下; 上述p侧区域的至少一层氮化物半导体层,是将含Al的第三氮化物半 导体膜和具有与该第三氮化物半导体膜不同组成的第四氮化物半导体膜层 叠而成的p侧多层膜层,并且,上述第三氮化物半导体膜和上述第四氮化 物半导体膜中的至少一方的膜厚为100或以下; 上述n侧多层膜层与上述p侧多层膜层,层数和/或组成互相不同。
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