[发明专利]反射式高能电子衍射仪用电子枪电源有效
申请号: | 200610134202.0 | 申请日: | 2006-11-08 |
公开(公告)号: | CN101178371A | 公开(公告)日: | 2008-05-14 |
发明(设计)人: | 薛玉茹 | 申请(专利权)人: | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
主分类号: | G01N23/20 | 分类号: | G01N23/20;G01N23/205;H02M7/10;H02M7/538;G05F1/56;H03F3/45;H03F1/52 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人: | 许宗富;周秀梅 |
地址: | 110004辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明公开一种反射式高能电子衍射仪用电子枪电源,其中高压电源为-25kv,由高压部分、低压调整两部分组成,高压部分的谐振电路输出经10倍压整流滤波产生-25KV高压接至电子枪灯丝和栅极上;其低压调整部分中由调整管接高压部分及第2驱动管,第2驱动管接的输入信号来自高压部分及电流取样放大电路的过流保护及故障报警电路,缓启电路与过流保护及故障报警电路和电压取样放大电路相连;高压测量显示电路输入为高压部分,输出至显示器;其偏转电源包括低压信号电路、高压放大电路,低压信号电路提供两极性相反的电压信号,接至高压放大电路,最后接至偏转板。本发明工作可靠、结构简单。 | ||
搜索关键词: | 反射 高能 电子衍射 用电 电源 | ||
【主权项】:
1.一种反射式高能电子衍射仪用电子枪电源,包括对偏转器施加偏转电压的偏转电源,在超高真空中对灯丝和栅极施加高压的高压电源,在栅极施加栅极电压的栅极电源,增加灯丝工作电流的灯丝电源;其特征在于:所述高压电源为-25kv,由高压部分、低压调整两部分组成,其中高压部分包括:谐振电路,其输出信号经变压器升压送至倍压整流电路;倍压整流滤波电路,经10倍压整流滤波产生-25KV高压,接至电子枪灯丝和栅极上;低压调整部分包括:调整管(T1),接至高压部分第1电感器(L1)及第2驱动管(T2),由第2驱动管(T2)驱动;第2驱动管(T2),接至过流保护及故障报警电路的输出端及电压电流误差放大电路的输出端;过流保护及故障报警电路,输入信号来自高压部分及电流取样放大电路的输出,输出经缓启电路;高压测量显示电路,输入信号为高压部分的电压测量端(Vd),输出信号至显示器;取样放大电路,包括电压、电流取样放大电路,电压取样放大电路将缓启电路输出的给定信号及高压部分的电压反馈端信号叠加,输出用来调节第2驱动管(T2)的基极电压;电流取样放大电路,将来自高压部分的电流反馈端的电位与来自5V的参考电位比较接至过流保护及故障报警电路;缓启动电路,输入信号来自过流保护及故障报警电路;所述偏转电源为两套结构相同的X、Y偏转系统提供静电偏转的±400V的电源,其中一套包括低压信号电路、高压放大电路,高压放大电路输入信号来自提供两极性相反的电压信号的低压信号电路,输出接至偏转板。
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