[发明专利]高能半导体激光器发散角测试方法及其装置

摘要

本发明提供一种高能半导体激光器发散角测试的方法及装置，是利用光束传播方向不同距离处两个光斑外缘曲线的几何特征来求得激光器发散角，光斑外缘曲线由两个相互垂直、同心放置，上面均匀分布多根光纤的光探头的旋转扫描探测获得；装置是由驱动电源、冷却水平台、冷却水循环系统、四维移动台、电机组、驱动器、光接收组件步进电机、驱动器、数据采集模块、PC机等组成。光接收组件由光探头和光探头组成，光接收组件、数据采集模块、计算机依次电气连接。该方法和装置解决了把面阵激光器的面发光直接当作点光源的点发光引起的测试误差，避免了因激光器功率过大而损坏和烧毁探测器。与其它测试方法相比具有准确、可靠的优点。

主权项

1、一种高能半导体激光器发散角测试方法，其特征在于，用光束传播方向不同距离处两个光斑外缘曲线的几何特征来求得激光器发散角，光斑外缘曲线由两个相互垂直、同心放置，上面均匀分布多根光纤的光探头的旋转扫描探测获得，光纤另一端接光探测器，包括如下步骤：(1)以肉眼观察使被测激光器(1)中心位置处于光接收组件(8)的中心；(2)启动驱动电源(2)和冷却水循环系统(4)，使被测激光器(1)正常发光；(3)X轴方向对心：探测获得被测激光器(1)的X轴方向的光强分布曲线，求得曲线峰值点的位置坐标与光接收组件(8)中心点之间的距离(L3)，手动调节，使四维移动台(5)在X轴方向移动距离(L3)，完成水平方向对心；(4)Y轴方向对心：原理同步骤(3)，方向为Y轴，其它相同；(5)Z轴方向对心：由四维移动台(5在Z轴方向的移动调节功能和绕Y轴的转动调节功能共同完成；(6)启动步进电机(11)从固定位置转动，转1.8度后，短暂等待，数据采集模块采集到两组测试数据，并传给PC机(14)，PC机(14)接收、保存测试数据；(7)重复上述步骤(5)，直到步进电机(11)完成180度转动；(8)PC机(14)接收到通过光接收组件获得的测试数据200组，对每组测试数据曲线拟合，获得相应的光强分布曲线200条；(9)根据每条光强分布曲线求得两个光斑边缘点，共能求出400个不同位置的光斑边缘点；(10)对光斑边缘点曲线拟合，得到光束传输不同距离处的两个光斑外缘曲线；(10)分别求得两个光斑外缘曲线的长轴和短轴；(11)把两长轴描绘在同一坐标系统中，两短轴描绘在另一坐标系中，求得被测激光器(1)的快轴和慢轴发散角。