[发明专利]用于喷墨头的压电致动器及其制造方法有效
| 申请号： | 200610136065.4 | 申请日： | 2006-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN101026220A | 公开（公告）日： | 2007-08-29 |
| 发明（设计）人： | 李泰京;郑在佑;李教烈;李华善;林承模;李在昌 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H01L41/047;H01L41/22;B41J2/14;B41J2/045 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马高平;杨梧 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了用于喷墨头的压电致动器及其制造方法。所述压电致动器形成在振动板上，用于向各个压力室提供驱动力。该压电致动器包括：形成在所述振动板上的下电极；形成在下电极上、处于对应于各个压力室的位置的压电层；形成在下电极上的支撑垫，该支撑垫接触压电层的一端并从压电层的该端延伸出；和从压电层顶面延伸至支撑垫顶面的上电极，其中，上电极在支撑垫上方连接至一驱动电路，用于从该驱动电路接收电压。压电层可以具有与压力室大致相同的长度。支撑垫可以由光敏聚合物形成，并可以具有与压电层大致相同的高度。上电极可以包括形成在压电层上的第一部分和形成在支撑垫上的第二部分，该第二部分比第一部分宽。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 喷墨 压电 致动器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于喷墨头的压电致动器，该压电致动器形成在振动板上，用于向各个压力室提供驱动力，所述压电致动器包括：形成在所述振动板上的下电极；形成在所述下电极上、处于对应于所述各个压力室的位置的压电层；形成在所述下电极上的支撑垫，该支撑垫接触所述压电层的一端并从压电层的该端延伸出；和从所述压电层的顶面延伸至所述支撑垫的顶面的上电极，其中，所述上电极在所述支撑垫上方连接至一驱动电路，用于从该驱动电路接收电压。
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