[发明专利]发光半导体元件的制造方法有效
申请号: | 200610136532.3 | 申请日: | 2001-03-16 |
公开(公告)号: | CN1933202A | 公开(公告)日: | 2007-03-21 |
发明(设计)人: | S·巴德尔;B·哈恩;V·海勒;H·-J·卢高尔;M·蒙德布罗德-范格罗;D·埃塞尔特 | 申请(专利权)人: | 奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 蔡民军;胡强 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种用于制作发光半导体元件的方法,这种元件的半导体本体由一个若干不同的III-V族-氮化物-半导体层(1)的层叠构成并具有第一个主面(3)和第二个主面(4),其中,产生的辐射的至少一部分通过该第一主面输出,且该第二主面具有一个反射器,其特征为,这些III-V族-氮化物-各层被设置在一个复合衬底上,该复合衬底具有一个衬底本体和一层夹层,其中,该衬底本体的热膨胀系数相似于或最好大于III-V族-氮化物-各层的热膨胀系数,且III-V族-氮化物-各层淀积在该夹层上。 | ||
搜索关键词: | 发光 半导体 元件 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.用于制作发光半导体元件的方法,这种元件的半导体本体由一个若干不同的III-V族-氮化物-半导体层(1)的层叠构成并具有第一个主面(3)和第二个主面(4),其中,产生的辐射的至少一部分通过该第一主面输出,且该第二主面具有一个反射器,其特征为,将这些III-V族-氮化物-各层被设置在一个复合衬底上,该复合衬底具有一个衬底本体和一层夹层,其中,该衬底本体的热膨胀系数相似于或最好大于III-V族-氮化物-各层的热膨胀系数,且III-V族-氮化物-各层淀积在该夹层上。
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