[发明专利]统计制程管制系统及其处理方法无效
| 申请号： | 200610136645.3 | 申请日： | 2006-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN101169626A | 公开（公告）日： | 2008-04-30 |
| 发明（设计）人： | 何煜文;郑炜缙 | 申请（专利权）人： | 力晶半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/02 | 分类号： | G05B19/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 黄小临;王志森 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种统计制程管制系统。当第一晶圆批量在第一晶圆厂中执行制程时，第一制造执行系统取得与该第一晶圆批量以及与该第一晶圆厂中的第一机台相关的第一制程信息。当第二晶圆批量在第二晶圆厂中执行制程时，该第二制造执行系统取得与该第二晶圆批量以及与该第二晶圆厂中的第二机台相关的第二制程信息。统计制程管制服务器同时管理与监控该第一制造执行系统与该第二制造执行系统，且自该第一制造执行系统与该第二制造执行系统取得该第一制程信息与该第二制程信息。 | ||
| 搜索关键词： | 统计 管制 系统 及其 处理 方法 | ||
【主权项】：
1.一种统计制程管制系统，包括：第一制造执行系统，当第一晶圆批量在第一晶圆厂中执行制程时，其取得与该第一晶圆批量以及与该第一晶圆厂中的第一机台相关的第一制程信息；第二制造执行系统，当第二晶圆批量在第二晶圆厂中执行制程时，其取得与该第二晶圆批量以及与该第二晶圆厂中的第二机台相关的第二制程信息；以及统计制程管制服务器，其同时管理与监控该第一制造执行系统与该第二制造执行系统，且自该第一制造执行系统与该第二制造执行系统取得该第一制程信息与该第二制程信息。
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