[发明专利]具有增加的使用寿命的磁控管源无效
| 申请号： | 200610136661.2 | 申请日： | 2006-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN1978697A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 郭信生 | 申请（专利权）人： | 亚升技术公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 张维 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于在真空淀积系统中的溅射靶附近产生磁场的磁控管源，包括顺序设置的第一磁极性的第一组单个磁体和顺序设置的与第一磁极性相反的第二磁极性的第二组单个磁体。第一组磁体和第二组磁体如此地配置，使得可以在第一组磁体和第二组磁体之间的区域中、在溅射靶的溅射表面附近俘获电子。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 增加 使用寿命 磁控管源 | ||
【主权项】：
1.一种用于在真空淀积系统中的溅射靶附近产生磁场的磁控管源，包括：顺序设置的第一磁极性的第一组单个磁体；以及顺序设置的与所述第一磁极性相反的第二磁极性的第二组单个磁体；其中所述第一组磁体和所述第二组磁体如此地配置，使得可以在所述第一组磁体和所述第二组磁体之间的区域中、在所述溅射靶的溅射表面附近俘获电子。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于亚升技术公司，未经亚升技术公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610136661.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
