[发明专利]硅晶体生长炉用高纯固化炭毡制造方法有效
| 申请号： | 200610136811.X | 申请日： | 2006-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN1994972A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | 蒋建纯;张弛;曹传辉;陈志军;文俊祥;孟辉;周九宁 | 申请（专利权）人： | 湖南南方搏云新材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C04B35/83 | 分类号： | C04B35/83;C04B35/52;C30B15/00;C30B35/00;D01F11/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410100湖南省长沙*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明是硅晶体生长炉用的高纯固化炭毡制备方法，其工艺是：选择金属杂质含量很低的软的毡体作坯体材料，高温预处理使之成为石墨毡体；用石墨毡体制作坯体；对均匀渗入固化剂的坯体进行固化定型；炭化处理坯体；再对坯体进行化学气相预沉积；对零件的部分需切削加工的表面进行机械切削加工；再对坯体高温处理，去除金属杂质和挥发分；对出炉后的零件已加工面进行表面涂层处理及零件的表面强化处理，提高坯体表面抗侵蚀能力。采用本专利技术制造的固化炭毡导热系数低，节能保温效果好，轻质高强，质量稳定，使用可靠，金属杂质含量可控制在300ppm甚至100ppm以内。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 高纯 固化 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种硅晶体生长炉用高纯固化炭毡制造方法，其特征是：选择金属杂质含量很低的软的毡体作坯体材料，高温预处理使之成为石墨毡体；借助于模具、胎具，用经过高温处理的石墨毡体制作坯体；坯体中均匀渗入适量的固化剂，对渗入固化剂的预成形的坯体进行固化定型处理；再对经过固化处理的坯体作炭化处理；将初步成型的坯体装入真空化学气相沉积炉进行化学气相预沉积；对零件的部分需切削加工的表面进行机械切削加工；高温处理零件坯体，去除金属杂质和挥发分；对出炉后的零件的已加工面进行表面涂层处理；对零件作化学气相沉积，进行表面强化处理，提高坯体表面抗侵蚀能力。
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