[发明专利]粘结抛光垫的方法和粘结抛光垫的夹具

摘要

粘结抛光垫的方法能在一舒适的姿势中容易地更换抛光垫。该方法包括以下步骤：将一粘结垫的载体设定在一保持器内，其具有一通孔，一用来压迫抛光垫的滚轮单元固定在其中，使一滚轮单元沿一下抛光板和一上抛光板的径向方向布置；相对地移动上抛光板朝向下抛光板，以用一规定的力将滚轮单元夹紧在下抛光板和上抛光板之间；以相同的速度但以相对的方向转动夹紧滚轮单元的下抛光板和上抛光板；以及用滚轮单元将抛光垫压迫到下抛光板和上抛光板的抛光面上。

主权项

1.一在抛光装置内粘结抛光垫的方法，抛光装置包括：一具有其上粘结所述抛光垫的一抛光面的下抛光板；一设置在所述下抛光板上方的上抛光板，所述上抛光板具有一其上粘结所述抛光垫的抛光面；一沿垂直方向保持和移动所述上抛光板的保持单元；一具有一通孔的载体，一晶片可保持在其中，所述载体用一保持器设置在所述下抛光板和所述上抛光板之间；一转动的驱动单元，其围绕轴线转动所述下抛光板和所述上抛光板；以及一连接到所述保持器的轨道驱动单元，所述轨道驱动单元使所述载体和所述保持器绕轨道移动而不围绕它们的轴线转动，其中，通过转动所述下抛光板和所述上抛光板并沿轨道移动所述载体，可同时地抛光夹在所述下抛光板和所述上抛光板之间的晶片的上面和下面，同时地将所述抛光垫粘结到所述下抛光板和所述上抛光板的所述方法包括以下步骤：从所述保持器中脱开所述载体；试探性地将所述抛光垫粘结到所述下抛光板和所述上抛光板的抛光面上；将一粘结垫的载体设定在所述保持器内，所述粘结垫的载体的尺寸几乎等于所述载体的尺寸，所述粘结垫的载体具有一通孔，一用来压迫所述抛光垫的滚轮单元固定在其中，使所述滚轮单元沿着所述下抛光板和所述上抛光板的径向方向布置；朝向所述下抛光板移动所述上抛光板，以便用规定的力将所述滚轮单元夹紧在所述下抛光板和所述上抛光板之间；以相同的速度但以相对的方向转动夹紧所述滚轮单元的所述下抛光板和所述上抛光板；以及用所述滚轮单元将所述抛光垫压迫到所述下抛光板和所述上抛光板的抛光面上。