[发明专利]图形形成方法、膜结构体、电光装置及电子设备无效
申请号: | 200610137458.7 | 申请日: | 2006-10-25 |
公开(公告)号: | CN1956631A | 公开(公告)日: | 2007-05-02 |
发明(设计)人: | 平井利充;守屋克之;稻垣显 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H05K3/12 | 分类号: | H05K3/12;C23C26/00;C23C30/00;H01L21/288;H01L21/768 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汪惠民 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种图形形成方法、膜结构体、电光装置及电子设备,利用校准标记(AM)在衬底(P)上的隔壁(B1)间配置含有图形形成材料的液体材料,形成图形(80)。在图形(80)的形成前,具有形成与校准标记(AM)对应的标记用隔壁(B1)的工序和在标记用隔壁(B1)之间配置含有校准标记形成材料的液体材料的工序。因此,能以高的校准精度形成图形。 | ||
搜索关键词: | 图形 形成 方法 膜结构 电光 装置 电子设备 | ||
【主权项】:
1.一种图形形成方法,利用校准标记在衬底上的隔壁之间配置含有图形形成材料的液体材料,形成图形,其特征在于,具有:在所述图形形成前,形成与所述校准标记对应的标记用隔壁的工序;在所述标记用隔壁之间配置含有所述校准标记形成材料的液体材料的工序。
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