[发明专利]固定环、抛光头部和化学机械抛光设备无效
| 申请号： | 200610137572.X | 申请日： | 2006-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN1943988A | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 韩滋衡 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/047;B24B7/22;H01L21/304;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 王冉;王景刚 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 设计成抑制抛光处理期间产生的热量的固定环，包括吸热元件、热电元件和散热元件。设计成抛光晶片的抛光头部包括晶片载体、固定环和冷却元件。化学机械抛光设备包括在压盘上形成的抛光垫和包括固定环的抛光头部。 | ||
| 搜索关键词： | 固定 抛光 头部 化学 机械抛光 设备 | ||
【主权项】：
1.一种固定环，包括：在其中保持了晶片的吸热元件；在吸热元件上形成的热电元件；和位于热电元件上的用于耗散吸热元件吸收的热量的散热元件。
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