[发明专利]MEMS开关无效
| 申请号： | 200610137596.5 | 申请日： | 2006-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN101000842A | 公开（公告）日： | 2007-07-18 |
| 发明（设计）人： | 洪荣泽;金东均;宋寅相;李相勋;权相旭;金钟硕;金载兴 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01H57/00 | 分类号： | H01H57/00;B81B5/00 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 韩明星;刘奕晴 |
| 地址： | 韩国京畿道水*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微电子机械系统(MEMS)开关，包括：基底；固定信号线，形成在基底上；可动信号线，与所述固定信号线的上表面和下表面中的一个表面分开；至少一个压电致动器，连接到所述可动信号线的第一端上，以使所述可动信号线与所述固定信号线接触或分开。所述至少一个压电致动器包括：第一电极；压电层，形成在所述第一电极上；第二电极，形成在所述压电层上；连接层，形成在所述第二电极上并与所述可动信号线连接。 | ||
| 搜索关键词： | mems 开关 | ||
【主权项】：
1、一种微电子机械系统开关，包括：基底；固定信号线，形成在基底上；可动信号线，与所述固定信号线的上表面分开；至少一个压电致动器，连接到所述可动信号线的第一端上，以使所述可动信号线与所述固定信号线接触或分开。
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