[发明专利]真空承载设备有效
| 申请号： | 200610138287.X | 申请日： | 2006-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN1959487A | 公开（公告）日： | 2007-05-09 |
| 发明（设计）人： | 庄爵豪;梁淑斐;王泳麒;曾建春 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 梁挥;徐金国 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种真空承载设备，包含一真空承载平台、一传输管路、一真空槽、一储水槽与至少一阀门。真空承载平台具有通孔，传输管路的第一端连接至通孔，第二端连接至真空泵，第三端连接至去离子水源。真空槽连接于第一端与第二端之间，而储水槽则连接于第一端与第三端之间。阀门用以控制真空槽与第一端或储水槽与第一端的启闭。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 承载 设备 | ||
【主权项】：
1、一种真空承载设备，用以承载与固定一基板，并与一真空泵及一去离子水源连接，其特征在于，包含有：一真空承载平台，具有数个通孔；一传输管路，包含有一第一端、一第二端以及一第三端，该第一端连接至该真空承载平台的该通孔，该第二端连接至该真空泵，该第三端连接至该去离子水源；一真空槽，连接于该传输管路的该第一端与该第二端之间；一储水槽，连接于该传输管路的该第一端与该第三端之间；以及至少一阀门，连接于该第一端、该真空槽与该储水槽之间，借以控制该真空槽与该第一端或该储水槽与该第一端的启闭状态。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于友达光电股份有限公司，未经友达光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610138287.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
