[发明专利]涂布系统

摘要

一种涂布系统(1)，具有处理单元组(2)、分度器(3)和多级搬送机械手(4)，处理单元组(2)包括有机EL胶带单元(26)、有机EL涂布单元(24)、和有机EL烘培单元(25)。在涂布系统(1)中，在处理单元组(2)，通过有机EL胶带单元(26)在基板的禁止涂布区域粘贴第二遮蔽胶带，通过有机EL涂布单元(24)在包括禁止涂布区域的基板上的区域涂布有机EL液。并且，通过由流动性材料除去单元即有机EL胶带单元(26)剥离第二遮蔽胶带，从而能容易地得到仅在涂布区域涂布了有机EL液的基板。然后，通过由有机EL烘培单元(25)进行对基板的加热处理，从而有机EL液固定在基板上，而形成了有机EL层。

主权项

1.一种涂布系统，其对基板涂布流动性材料，其特征在于，具有：处理单元组；分度器，其装载着由上述处理单元组进行处理前的未处理基板和由上述处理单元组进行处理后的处理完成基板；基板搬送机构，其对上述分度器和上述处理单元组进行基板的交接，沿着从上述分度器开始经由上述处理单元组的至少一部分而直至上述分度器的规定的搬送路径，搬送上述基板，上述处理单元组包括：涂布单元，其从喷嘴向基板连续地喷出流动性材料，并使上述喷嘴相对于上述基板相对地移动，而在上述基板上涂布上述流动性材料；和流动性材料除去单元，其从上述基板的禁止涂布区域上除去上述流动性材料。