[发明专利]场致发射型电子枪及使用了该电子枪的电子束装置有效
| 申请号： | 200610139236.9 | 申请日： | 2006-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN1937165A | 公开（公告）日： | 2007-03-28 |
| 发明（设计）人： | 藤枝正;日高贵志夫;林原光男 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/073 | 分类号： | H01J37/073;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 熊志诚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有不会破坏纤维状碳物质前端部，可去除其前端部存在的非晶碳的机构的场致发射型电子枪及其运转方法。为解决本发明的课题的机构的场致发射型电子枪，其包括：由单一的纤维状碳物质和支撑其的导电性基体材料构成的场致发射型阴极；使电子场致发射的引出装置；以及使电子加速的加速装置；该场致发射型电子枪具备：加热该场致发射型阴极的机构以及对该场致发射型阴极施加不使电子进行场致发射电的极性的电压的机构。 | ||
| 搜索关键词： | 发射 电子枪 使用 电子束 装置 | ||
【主权项】：
1.一种场致发射型电子枪，具备：由单一的纤维状碳物质和支撑其的导电性基体材料构成，并通过施加第一电压进行场致发射的场致发射型阴极；使电子场致发射的引出装置；以及使电子加速的加速装置；其特征在于，包括：加热该场致发射型阴极的加热机构；以及施加与上述第一电压相反的极性的电压的机构。
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