[发明专利]探针卡移载辅助装置、检查设备和检查方法有效
| 申请号： | 200610139281.4 | 申请日： | 2006-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN1936594A | 公开（公告）日： | 2007-03-28 |
| 发明（设计）人： | 长坂旨俊;望月智秋 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R1/067;G01R1/073;G01R31/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 随着近年来的探针卡(4)的大型化，其重量重达15～25Kg，所以，例如操作者等为了将探针卡(4)从搬送台车上抬起、移载并设置在卡搬送装置上，不仅需要很大的力气，而且在抬起探针卡(4)时抓住的部分受到限制，操作需要慎重，因此，给操作者带来过大的负担。本发明的探针卡移载辅助装置(55)包括：保持探针卡(51)的保持件(551)；前端部上安装有该保持件(551)的能够伸缩的臂(552)；支撑该臂(552)的自由旋转的支撑体(553)；根据重量的不同，通过该支撑体(553)，使探针卡(51)升降的升降驱动装置(554)。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 卡移载 辅助 装置 检查 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡移载辅助装置，对电气检查装置中使用的探针卡的移载操作进行辅助，其特征在于，包括：保持所述探针卡的保持部；以某点为中心自由旋转地支撑所述保持部的支撑部；和使所述支撑部升降的装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610139281.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：化学物供料器
- 下一篇：涡旋式流体机械的端部密封
