[发明专利]感光性树脂组合物及其层合体有效
| 申请号： | 200610139390.6 | 申请日： | 2006-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN1940723A | 公开（公告）日： | 2007-04-04 |
| 发明（设计）人： | 山田有里;五十岚勉 | 申请（专利权）人： | 旭化成电子材料元件株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/20;G03F7/26;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 段承恩;田欣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种显影后的解像性良好，对显影液的分散稳定性优异，不出现凝集物，且固化膜柔软性优异，具有盖孔性及良好的耐蚀刻液性的感光性树脂组合物、具有由该组合物构成的感光性树脂层的感光性树脂层合体，以及使用该层合体形成抗蚀图案的方法及制造导体图案的方法。本发明通过提供下述感光性树脂组合物而解决了上述问题，即，一种感光性树脂组合物，其特征在于含有(a)粘结剂用树脂：10～90质量％，其羧基含量以酸当量计为100～600，作为共聚成分含有(甲基)丙烯酸苄酯，且重均分子量为5000～500000，(b)光聚合性不饱和化合物：5～70质量％，(c)作为光聚合引发剂的特定化合物0.1～20质量％。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 及其 合体 | ||
【主权项】：
1、一种感光性树脂组合物，其特征在于含有，(a)粘结剂用树脂：10～90质量％，其羧基含量以酸当量计为100～600，作为共聚成分含有10～90质量％(甲基)丙烯酸苄酯，且重均分子量为5000～500000，(b)光聚合性不饱和化合物：5～70质量％，(c)作为光聚合引发剂的下述通式(I)所示的化合物0.1～20质量％；![]()
式中，A表示选自氢、芳基、杂环基、直链或支链的碳数为1～6的烷基或烷氧基、及NR2(R为氢原子或碳数为1～6的烷基)的取代基。
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