[发明专利]基板检查装置

摘要

本发明提供一种基板检查装置。基板检查装置(1)具有：支架转动机构(3)，其保持并转动被检查基板(W)；背光灯(5)，其照射被检查基板(W)的表面(W1)的相反侧的背面(W2)；以及背光灯(5)的移动单元(6)。作为移动单元(6)的转动臂(17)由两根连杆(19、20)和作为固定部件的固定板(21)构成。两根连杆(19、20)在各自一端(19a、20a)以设置预定间隔的方式分别可转动地支撑在支撑部件(16)上。此外，在另一端(19b、20b)，以设置预定间隔的方式分别可转动地支撑在固定板(21)上。背光灯(5)固定在固定板(21)上。

主权项

1.一种基板检查装置，所述基板检查装置具有：支架转动机构(3)，所述支架转动机构(3)保持被检查基板(W)，并在检查时使所述被检查基板(W)移动到检查位置(A)，在非检查时使所述被检查基板(W)移动到退避位置(B)；和背光灯(5)，所述背光灯(5)位于所述被检查基板(W)的与观察表面(W1)侧相反的背面(W2)侧，用于照射所述被检查基板(W)，并且所述基板检查装置通过该背光灯(5)的透射型背面照明能够进行所述被检查基板(W)的外观检查，所述基板检查装置的特征在于，具有可使所述背光灯(5)移动的移动单元，该移动单元在通过透射型背面照明进行观察时，使所述背光灯(5)接近通过所述支架转动机构(3)而设定为预定角度的所述被检查基板(W)的背面侧，同时，在通过来自表面侧的落射照明进行观察时以及所述支架转动机构(3)转动时，使所述背光灯(5)移动到所述支架转动机构(3)的转动区域之外。