[发明专利]制备化学放大正性光刻胶用树脂的方法无效
| 申请号： | 200610139932.X | 申请日： | 2006-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN1940726A | 公开（公告）日： | 2007-04-04 |
| 发明（设计）人： | 冈崎慎哉;冈本匡史;藤裕介;藤岛浩晃 | 申请（专利权）人： | 住友精化株式会社;住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春琦 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种制备化学放大正性光刻胶用树脂的方法，该方法包括将至少一种单体和/或至少一种已聚合的低聚物进行聚合，从而提供化学放大正性光刻胶用树脂的步骤，其中采用两种或更多种聚合引发剂以引发聚合，由此以高产率获得树脂。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 化学 放大 光刻 树脂 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备化学放大正性光刻胶用树脂的方法，该方法包括将至少一种单体和/或至少一种已聚合的低聚物进行聚合以提供化学放大正性光刻胶用树脂的步骤，其中采用至少两种聚合引发剂以引发聚合。
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