[发明专利]膜形成方法、有机电致发光装置的制造方法、有机电致发光装置及电子机器

摘要

一种膜形成方法，在加压工序中，对墨水(50)的周围的压力加压，从而能够使墨水(50)包含的混合溶剂的蒸发速度减少，使来自墨水(50)的中央部(50a)的溶剂的蒸发量(J_E)及来自周边部50b)的蒸发量(J_C)都减少。这样J_E和J_C之差的绝对值|J_E－J_C|变小，所以能够在墨水(50)的内部，使从中央部(50a)向周边部(50b)流动的混合溶剂的流速减小。混合溶剂的流速减小后，溶质就在墨水(50)的内部扩散，能够使该墨水(50)的中央部(50a)和周边部(50b)的溶质的浓度均匀。提供能够容易控制膜厚，能够获得平坦的膜的膜形成方法、有机电致发光装置的制造方法、有机电致发光装置及电子机器。

主权项

1、一种膜形成方法，其特征在于，在基板上配置液态组成物，使所述液态组成物干燥后形成膜，其中，所述液态组成物是使功能材料溶解到混合了多种液体的溶剂中后形成的，所述膜形成方法，具备：第1减压工序，该工序以第1减压速度，将在所述基板上配置的液态组成物的周围减压；加压工序；该工序在所述第1减压工序之后，将所述液态组成物的周围的压力，加压到规定的压力为止；第2减压工序，该工序在所述加压工序之后，以所述第2减压速度，将所述液态组成物的周围减压。