[发明专利]感光性树脂组合物及其层压体无效
| 申请号： | 200610140451.0 | 申请日： | 2006-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN1945428A | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 山田有里;秦洋介 | 申请（专利权）人： | 旭化成电子材料元件株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/095;G03F7/20;H05K3/00;H01L21/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种显影后分辨率良好、显影液分散稳定性优良、不产生凝聚物、固化膜柔软性优良、具有盖孔性、优良的蚀刻液耐受性的感光性树脂组合物，以及具有由该组合物制成的感光性树脂层的感光性树脂层压体，以及提供使用该层压体的抗蚀图案的形成方法和导体图案的制造方法。一种感光性树脂组合物，其特征在于含有：(a)10～90重量％的粘结剂用树脂，其羧基含量以酸当量计为100～600，含有(甲基)丙烯酸苄酯作为共聚合成分，且该粘结剂用树脂的重均分子量为5000～500000，(b)3～70重量％的光聚合性不饱和化合物，(c)0.1～20重量％的光聚合引发剂以及(d)0.1～20重量％的特定的化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 及其 层压 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，以感光性树脂组合物的总重量计，含有：(a)10～90重量％的粘结剂用树脂，其羧基含量以酸当量计为100～600，含有(甲基)丙烯酸苄酯作为共聚合成分，且该粘结剂用树脂的重均分子量为5000～500000，(b)3～70重量％的光聚合性不饱和化合物，(c)0.1～20重量％的光聚合引发剂，以及(d)0.1～20重量％的下述通式(I)表示的吡唑啉化合物，![]()
式中，A、B和C分别独立地表示选自芳基、杂环基、碳原子数为3以上的直链或支链的烷基以及NR2中的取代基，其中R为氢原子或烷基；a、b和c分别是0～2的整数，且a+b+c的值在1以上。
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