[发明专利]薄板状材料输送用气动工作台以及薄板状材料输送装置无效
| 申请号： | 200610142371.9 | 申请日： | 2006-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN1948107A | 公开（公告）日： | 2007-04-18 |
| 发明（设计）人： | 名仓成之;滨中亮明;弓场说治;鸟山典之;小栗勤;牧野勉;福田丈二 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本设计工业;芝浦机械电子装置股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G37/00;B65G51/03 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种抑制无尘室内的空气紊流、并且高可靠性地获得薄板状材料的较大的上浮量的薄板状材料输送用气动工作台以及包括该气动工作台的薄板状材料输送装置。薄板状材料输送用气动工作台(14)具有外壁部(20)、隔壁部(28)、和气流均匀分配衰减器(30)；其中，外壁部(20)是上表面部(16)为大致平坦的箱状体，且在所述上表面部(16)上形成了多个给气孔(18)以对玻璃基板(12)的下表面供给气体；所述隔壁部(28)设置在该外壁部(20)内，以将该外壁部(20)的内侧分隔为用于向该外壁部(20)内导入所述气体的下侧室(22)以及与所述给气孔(18)邻接的上侧室(24)，并且，所述隔壁部(28)形成有在上下方向贯通的多个中间通气孔(26)；所述气流均匀分配衰减器(30)设置在所述上侧室(24)内，用于使从所述中间通气孔(26)到所述给气孔(18)的气流的分配均匀化，并且使该气流的速度衰减。 | ||
| 搜索关键词： | 薄板 材料 输送 气动 工作台 以及 装置 | ||
【主权项】：
1、一种薄板状材料输送用气动工作台，其特征在于，具有外壁部、隔壁部、和气流均匀分配衰减器；其中，所述外壁部是上表面部为大致平坦的箱状体，且在所述上表面部上形成了多个用于对薄板状材料的下表面供给气体的给气孔；所述隔壁部设置在该外壁部内，以将该外壁部的内侧分隔为用于向该外壁部内导入所述气体的下侧室以及与所述给气孔邻接的上侧室，并且，所述隔壁部形成有在上下方向贯通的多个中间通气孔；所述气流均匀分配衰减器设置在所述上侧室内，以使从所述中间通气孔到所述给气孔的气流的分配均匀化，并且使该气流的速度衰减。
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