[发明专利]差分比较检查方法及差分比较检查装置无效
| 申请号： | 200610142822.9 | 申请日： | 2006-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN1982880A | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | 浅井宣雄;赤木佑司;大西润 | 申请（专利权）人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/88;H05K3/00;G06T7/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐恕 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 分别从基准图像检测出在图案上形成凹状的角落即内角及凸状的角即外角。接着，确定检测出的内角附近的区域即内角区域的范围。同时，确定检测出的外角附近的区域即外角区域的范围。然后，基于基准图像和对象图像的差分进行比较检查。此时，在基准图像的内角区域中，将相对于比该基准图像表示的图案的区域过剩形成的对象图像的图案的区域的差分排除在外而进行比较检查。并且，在基准图像的外角区域中，将相对于比该基准图像表示的图案的区域不足形成的对象图像的图案的区域的差分排除在外而进行比较检查。 | ||
| 搜索关键词： | 比较 检查 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种差分比较检查方法，其是将对形成了图案的被检查物进行拍摄而得到的对象图像和该图案的基准图像进行比较，检查该被检查物的差分比较检查方法，其特征在于，具有：角检测步骤，其将上述图案中形成的作为凹状的角落的内角及作为凸状的角的外角分别从上述基准图像检测出来；内角区域确定步骤，其确定上述检测出的内角附近的区域、即内角区域的范围；外角区域确定步骤，其确定上述检测出的外角附近的区域、即外角区域的范围；比较检查步骤，其基于上述基准图像和上述对象图像的差分进行比较检查，上述比较检查步骤，其在上述基准图像的上述内角区域中，将相对于比该基准图像表示的图案的区域过剩形成的上述对象图像的图案的区域的差分排除在外而进行比较检查；在上述基准图像的上述外角区域中，将相对于比该基准图像表示的图案的区域不足形成的上述对象图像的图案的区域的差分排除在外而进行比较检查。
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