[发明专利]光学检查方法以及使用它的光学检查装置无效
| 申请号： | 200610142988.0 | 申请日： | 2006-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN1987423A | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | 高濑智裕;植松育生;绳田功 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | G01N21/27 | 分类号： | G01N21/27;G01N33/53 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 实现使用可以用电池驱动，不会受到环境温度条件的影响，并且可以得到正确的传感检测结果的可搬运型的光学检查机器的检查方法。当用具备具有基板(5)、配置在该基板上的光波导层(6)、粘贴在该光波导层表面上的传感薄膜(7)的传感器芯片，向传感器芯片照射光的光源(8)，和接受从传感器芯片输出的光并变换成电信号的感光元件(9)的光学检查装置，向传感器芯片照射一定期间的光，并利用从传感器芯片得到的光信号，测定放置在传感薄膜上的试样中所含有的物质量时，在检查光照射的一定期间内，使光源多次一明一灭，并由感光元件测定点亮时的光量，进行物质量的决定。这时，也可以测定熄灭时的光量，从它们的差进行物质量的决定。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 检查 方法 以及 使用 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学检查方法，使用具备具有基板、配置在该基板上的光波导层、以及粘贴在该光波导层表面上的传感薄膜的传感器芯片，向所述传感器芯片照射光的光源，和接受从所述传感器芯片输出的光并变换成电信号的感光元件的光学检查装置，向所述传感器芯片照射一定期间的光，利用从所述传感器芯片得到的光信号，测定放置在所述传感薄膜上的试样中所含有的物质量，所述光学检查方法的特征在于：在为了测定上述物质量而照射光的一定期间内，使所述光源多次一明一灭，并由该感光元件进行光的计测。
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