[发明专利]用于调节过程参数中的空间相关变差的方法和系统无效
| 申请号： | 200610143551.9 | 申请日： | 2006-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN1963826A | 公开（公告）日： | 2007-05-16 |
| 发明（设计）人： | 张黎征;文凯特斯瓦然·纳特森;维斯韦瓦里·钱德拉姆里;佐罗托夫·弗拉迪米尔 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 郭定辉;黄小临 |
| 地址： | 美国纽*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供用在电路的统计定时期间调节过程参数中的空间相关的变差的方法、系统和程序产品。在一个实施例中，该方法包括将电路的区域分为多个网格单元；将独立随机变量与多个网格单元中的每一个相关联；和将第一网格单元的至少一个空间相关的参数表示为与第一网格单元和至少一个相邻网格单元相关的独立随机变量的函数。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 调节 过程 参数 中的 空间 相关 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于在电路的统计定时期间调节过程参数中的空间相关的变差的方法，该方法包括：将电路的区域分为多个网格单元；将独立随机变量与多个网格单元中的每一个相关联；和将第一网格单元的至少一个空间相关的参数表示为与第一网格单元和至少一个相邻网格单元相关联的随机变量的函数。
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