[发明专利]将流体刷涂到表面能图案化的衬底上限定的高分辨率结构无效
| 申请号： | 200610143635.2 | 申请日： | 2006-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN1960022A | 公开（公告）日： | 2007-05-09 |
| 发明（设计）人： | 李顺普;克里斯托弗·约瑟姆;戴维·鲁塞尔;托马斯·库格勒 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L51/40 | 分类号： | H01L51/40;H01L51/05;B05C1/06;B05D7/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 公开了一种用于制造电子器件的方法，所述方法包括：在衬底上创建表面能图案；以及将第一流体刷涂到衬底上以形成与衬底上的表面能图案相对应的流体图案。同样公开了一种薄膜晶体管，包括：导电层；在导电层上形成的绝缘体层；在绝缘体层上形成的导电材料图案和第一自组装单层SAM；在导电材料上形成的第二SAM；以及在第一SAM和第二SAM上形成的半导体层。还公开了一种刷涂装置，包括：墨吸收刷头；通过墨流通道与刷头相连的墨容器；以及传送带，其中传送带的表面面向刷头。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 刷涂到 表面 图案 衬底 限定 高分辨率 结构 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造电子器件的方法，所述方法包括：在衬底上创建表面能图案；以及将第一流体刷涂到衬底上以形成与衬底上的表面能图案相对应的流体图案。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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