[发明专利]周边曝光装置及其方法

摘要

本发明提供一种周边曝光装置及其方法，该周边曝光装置及其方法可对应于在周边区域的任何位置上形成识别标记，并可使污染基板表面的原因达到最小限度。周边曝光装置具有：紫外线照射单元(9)，其在移动路径上，从照射口经由照射用透镜将包含紫外线的光照射至基板的周边区域；和照射区域调节遮板机构(10)，其根据基板的移动速度，以遮盖照射口(9m)的至少一部分而对识别标记进行遮光的方式进行控制。

主权项

1.一种周边曝光装置，该周边曝光装置使在形成于图案区域周围的周边区域上绘有第一识别标记的基板沿移动路径移动，对上述周边区域照射包含紫外线的光来进行曝光，其特征在于，该周边曝光装置具有：紫外线照射单元，其在上述移动路径上，从照射口经由照射用透镜将包含紫外线的光照射至上述基板的周边区域；以及照射区域调节遮板机构，其根据上述基板的移动速度，以遮盖上述照射口的至少一部分而对上述第一识别标记进行遮光的方式进行控制。