[发明专利]激光束、紫外线照射周边曝光装置及其方法

摘要

本发明提供一种激光束、紫外线照射周边曝光装置及其方法，从而将一个台座的移动速度确定为适当的速度。激光束、紫外线照射周边曝光装置包括：保持基板的台座(2)；使台座在绕与基板的面正交的垂线旋转的旋转方向、使台座沿基板的面水平移动的移动方向以及与使台座与所述移动方向正交的正交方向上水平移动的移动搬运机构(3)；在该移动搬运机构的移动路径上设在基板的上方的位置，并照射激光束的激光束单元(5)；从照射口对周边区域照射包含紫外线的光的紫外线照射单元(9)；和对应于照射激光束时使台座移动的第一移动速度和照射包含紫外线的光时使台座移动的第二移动速度中的某一个速度来控制移动搬运机构的控制装置(20)。

主权项

1.一种激光束、紫外线照射周边曝光装置，该装置使基板沿预定的移动方向移动，并对在该基板的图案区域的周围形成的周边区域照射激光束以曝光识别标记，同时，对所述周边区域照射包含紫外线的光以进行曝光，所述激光束、紫外线照射周边曝光装置的特征在于，该装置包括：台座，所述台座用于保持所述基板；移动搬运机构，所述移动搬运机构使所述台座在绕着与所述基板的面正交的垂线旋转的旋转方向、沿基板的面水平移动的移动方向以及与所述移动方向正交的正交方向上水平移动；激光束单元，所述激光束单元在该移动搬运机构的移动路径上设在所述基板的上方的位置，并照射激光束；紫外线照射单元，所述紫外线照射单元设置在与该激光束单元相邻的位置上且设在所述基板上方的位置，并从照射口将包含紫外线的光照射至所述周边区域；以及控制装置，所述控制装置对应于第一移动速度和第二移动速度中的某一个来控制所述移动搬运机构，其中所述第一移动速度是照射所述激光束时使所述台座移动的速度，所述第二移动速度是照射包含所述紫外线的光时使所述台座移动的速度。