[发明专利]激光束、紫外线照射周边曝光装置及其方法

摘要

本发明提供一种激光束、紫外线照射周边曝光装置及其方法，该装置及其方法能够应对于当识别标记形成在周边区域的任何位置的情况下。本装置包括：保持基板(W)的台座(2)；对基板的预设的预定位置和与预设在台座上的基准位置相对应而设置的定位标记进行摄影，以取得图像数据的摄影装置(4)；使台座移动的移动搬运机构(3)；在该移动搬运机构的移动路径上照射激光束的激光束单元(5)；从照射口对基板的周边区域照射包含紫外线的光的紫外线照射单元(9)；和可使基于从摄影装置取得的图像数据来进行基板的校准，并可使利用激光束的识别标记的曝光和利用包含紫外线的光的周边曝光同时进行的，控制移动搬运机构的控制装置(20)。

主权项

1.一种激光束、紫外线照射周边曝光装置，该装置使基板沿预定的移动方向移动，并对在该基板的图案区域的周围形成的周边区域照射激光束以曝光识别标记，同时，对所述周边区域照射包含紫外线的光以进行曝光，所述激光束、紫外线照射周边曝光装置的特征在于，该装置具有：台座，所述台座用于保持所述基板；摄影装置，所述摄影装置对所述基板的预设的预定位置和与预设在所述台座上的基准位置相对应而设置的定位标记进行摄影，以取得图像数据；移动搬运机构，所述移动搬运机构使所述台座在绕着与所述基板的面正交的垂线旋转的旋转方向、沿基板的面水平移动的移动方向以及与所述移动方向正交的正交方向上水平移动；激光束单元，所述激光束单元在该移动搬运机构的移动路径上照射激光束；紫外线照射单元，所述紫外线照射单元设置在与该激光束单元相邻的位置上，并从照射口将包含紫外线的光照射至所述基板的周边区域；以及控制装置，所述控制装置控制所述移动搬运机构，可使基于从摄影装置取得的图像数据来进行所述基板的校准，并可使利用所述激光束的识别标记的曝光和利用包含所述紫外线的光的周边曝光同时进行。