[发明专利]喷出量测定方法、图案形成方法、器件、电光学装置无效
| 申请号： | 200610144614.2 | 申请日： | 2006-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN1962266A | 公开（公告）日： | 2007-05-16 |
| 发明（设计）人： | 加藤刚 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/01 | 分类号： | B41J2/01;G02B5/20;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的液状体的喷出量测定方法包含：根据计测用喷出数据驱动液滴喷出头，以变为可测定的量的方式设定喷出数，把液状体作为液滴从喷嘴喷出的计测用喷出步骤(步骤S2)；计测所喷出的液状体的喷出量的计测步骤(步骤S3)；从计测的喷出量和喷出数计算平均喷出量的运算步骤(步骤S4)。作为计测用喷出数据，使用与对描绘图案喷出描绘时大致同样的喷出数据。提供接近形成描绘图案时的喷出量的计测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 喷出 测定 方法 图案 形成 器件 光学 装置 | ||
【主权项】：
1.一种喷出量测定方法，测定从液滴喷出头的喷嘴喷出的液状体的喷出量，包括：计测用喷出步骤，根据计测用喷出数据，驱动所述液滴喷出头，以变为可测定的量的方式设定喷出数，从所述喷嘴喷出所述液状体作为液滴；计测步骤，计测所喷出的所述液状体的喷出量；和运算步骤，从所计测的所述喷出量和所述喷出数计算平均喷出量；所述计测用喷出数据使用与对描绘图案喷出描绘时大致同样的喷出数据。
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