[发明专利]用于表面粘附的夹具和真空设备及粘附方法无效
| 申请号： | 200610144725.3 | 申请日： | 2006-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN1932600A | 公开（公告）日： | 2007-03-21 |
| 发明（设计）人： | 姜镐民;李秉训;闵勋基;黄晸护;金成敏 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 曲莹;马高平 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种可用于在真空环境中将粘附对象粘附到待粘附对象上的夹具以及在该粘附方法中使用的真空设备。夹具包括一起限定用于接收第一和第二对象的腔室的第一框架和第二框架。第一框架包括具有多个坐槽的支座部分和设置在每个坐槽下方的致动器，致动器可相对于坐槽移动。第一弹性元件在夹具中设置在致动器下方。第一弹性元件定位成，其响应于夹具腔室内的压力变化而能够接触和移动致动器。第二框架包括第二弹性元件，第二弹性元件定位成邻近每个坐槽。第二弹性元件可以随着夹具腔室内的压力变化而移动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 表面 粘附 夹具 真空设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种夹具，包括：第一框架，其包括：多个坐槽；多个致动器，每个致动器具有相关联的坐槽；以及位于致动器下方的第一柔性薄膜；和适于与第一框架配合的第二框架，该第二框架包括第二柔性薄膜。
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