[发明专利]一种薄膜晶体管液晶显示器像素结构及其制造方法有效
| 申请号： | 200610145113.6 | 申请日： | 2006-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN1959510A | 公开（公告）日： | 2007-05-09 |
| 发明（设计）人： | 邱海军;王章涛;闵泰烨 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1362 | 分类号： | G02F1/1362;G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜晶体管液晶显示器像素结构，包括：玻璃基板、栅线、栅电极、第一栅绝缘层、有源层、掺杂层、第二绝缘层、数据线、源电极、漏电极、像素电极及钝化层，其中栅电极和栅线上依次为第一栅绝缘层、有源层和掺杂层；栅线上有一截断槽，其截断栅线上的掺杂层和有源层；第二绝缘层覆盖在截断槽及栅线和栅电极外的玻璃基板上；像素电极与漏电极呈一体位于第二绝缘层上方，且在形成漏电极的位置与栅电极上的掺杂层搭接；钝化层覆盖在像素电极之外的部分。本发明同时公开了该像素结构的制造方法。本发明在基于传统工艺的基础上，利用光刻工艺实现了三次光刻掩模版形成薄膜晶体管的方法，可以节约阵列工艺的成本和占机时间，提高产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 液晶显示器 像素 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种薄膜晶体管液晶显示器像素结构，包括：玻璃基板、栅线、栅电极、第一栅绝缘层、有源层、掺杂层、第二绝缘层、数据线、源电极、漏电极、像素电极及钝化层，其特征在于：栅电极和栅线上依次为第一栅绝缘层、有源层和掺杂层；栅线上有一截断槽，其截断栅线上的掺杂层和有源层；第二绝缘层覆盖在截断槽及栅线和栅电极外的玻璃基板上；像素电极与漏电极呈一体位于第二绝缘层上方，且在形成漏电极的位置与栅电极上的掺杂层搭接；钝化层覆盖在像素电极之外的部分。
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