[发明专利]红外线传感元件和制造该红外线传感元件的方法有效
申请号: | 200610145169.1 | 申请日: | 2006-11-15 |
公开(公告)号: | CN1967181A | 公开(公告)日: | 2007-05-23 |
发明(设计)人: | 太田最实;广田正树 | 申请(专利权)人: | 日产自动车株式会社 |
主分类号: | G01J5/12 | 分类号: | G01J5/12;G01J5/14;H01L35/00;H01L37/00 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种红外线传感元件和制造该红外线传感元件的方法,该红外线传感元件包括:半导体基底;红外线接收部,其以与半导体基底隔离的方式布置在半导体基底的上方,该红外线接收部用于接收红外线;以及梁,用于将红外线接收部支撑到半导体基底并且包括用于感测红外线接收部的温度升高的热电偶,其中,梁和热电偶中的一个的截面形状包括至少一个突起部。 | ||
搜索关键词: | 红外线 传感 元件 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种红外线传感元件,其包括:半导体基底;红外线接收部,其以与所述半导体基底隔离的方式布置在所述半导体基底的上方,所述红外线接收部用于接收红外线;以及梁,用于将所述红外线接收部支撑到所述半导体基底,所述梁包括用于感测所述红外线接收部的温度升高的热电偶,其中,所述梁和所述热电偶中的一个的截面形状包括至少一个突起部。
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