[发明专利]一种TFT LCD阵列基板结构及其制造方法有效
申请号: | 200610145217.7 | 申请日: | 2006-11-17 |
公开(公告)号: | CN1963650A | 公开(公告)日: | 2007-05-16 |
发明(设计)人: | 周伟峰 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362;G02F1/133 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人: | 刘芳 |
地址: | 100016*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种TFT LCD阵列基板的结构,包括:玻璃基板,形成在玻璃基板上的薄膜晶体管阵列部分,其中一膜层,形成在玻璃基板和薄膜晶体管阵列部分之间,且膜层可为聚酰亚胺薄膜。本发明同时公开了该阵列基板结构的制造方法,包括:首先提供一玻璃基板,然后在玻璃基板上贴覆聚酰亚胺薄膜;最后在聚酰亚胺薄膜表面制备薄膜晶体管阵列部分。本发明在阵列基板检测后发现不合格产品,将薄膜连同其上的电路部分一同揭下,将玻璃基板回收重复利用,从而提高了TFT LCD玻璃基板的利用率,降低了制作成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 tft lcd 阵列 板结 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种TFT LCD阵列基板的结构,包括:玻璃基板,形成在玻璃基板上的薄膜晶体管阵列部分,其特征在于:一膜层,形成在玻璃基板和薄膜晶体管阵列部分之间。
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