[发明专利]加速度传感器以及磁盘驱动器装置

摘要

一种加速度传感器，包括外壳构件(20)、第一和第二具有重物的磁场产生构件(22a－22d)、具有连接到外壳构件(20)的支点(26)的弹簧构件(21)、和连接到外壳构件(20)以分别面对第一和第二具有重物的磁场产生构件(22a－22d)的第一和第二磁场探测传感器(23，24)，所述弹簧构件(21)用于支撑第一和第二具有重物的磁场产生构件(22a－22d)，以及当具有互相垂直的第一和第二轴方向上的分量的外力被施加时使第一和第二具有重物的磁场产生构件(22a－22d)发生位移。第一和第二磁场探测传感器(23，24)中的每一个具有两对多层磁阻效应元件(23a－23d，24a－24d)，每个多层磁阻效应元件包括一磁化固定层和一磁化自由层。所述磁化固定层沿着与第一和第二具有重物的磁场产生构件(22a－22d)的位移方向平行的方向被磁性固定。第一磁场探测传感器(23)中的一对多层磁阻效应元件(23a，23b)和第二磁场探测传感器(24)中的一对多层磁阻效应元件(24b，24a)以全桥形式连接。第一磁场探测传感器(23)中的另一对多层磁阻效应元件(23c，23d)和第二磁场探测传感器(24)中的另一对多层磁阻效应元件(24c，24d)以全桥形式连接。

主权项

1.一种加速度传感器，包括外壳构件、第一和第二具有重物的磁场产生构件、具有连接到所述外壳构件的支点的弹簧构件、和连接到所述外壳构件以分别面对所述第一和第二具有重物的磁场产生构件的第一和第二磁场探测传感器，所述弹簧构件用于支撑所述第一和第二具有重物的磁场产生构件，以及当具有互相垂直的第一和第二轴方向上的分量的外力被施加时使所述第一和第二具有重物的磁场产生构件发生位移，所述第一和第二磁场探测传感器中的每一个具有两对多层磁阻效应元件，每个所述多层磁阻效应元件包括一磁化固定层和一磁化自由层，所述磁化固定层沿着与所述第一和第二具有重物的磁场产生构件的位移方向平行的方向被磁性固定，所述第一磁场探测传感器中的一对所述多层磁阻效应元件和所述第二磁场探测传感器中的一对所述多层磁阻效应元件以全桥形式连接，所述第一磁场探测传感器中的另一对所述多层磁阻效应元件和所述第二磁场探测传感器中的另一对所述多层磁阻效应元件以全桥形式连接。