[发明专利]电容式超音波换能装置及其制作方法有效
| 申请号： | 200610145639.4 | 申请日： | 2006-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN1970172A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 张明暐;郭忠柱;邓泽民;钟祯元 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | B06B1/02 | 分类号： | B06B1/02;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 台湾省新竹县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种电容式超音波换能装置，其中包含第一电极；绝缘层，其形成于该第一电极上；至少一个支撑框架，其形成于该绝缘层上；以及第二电极，其形成为与该第一电极隔开，其中该第一电极及该第二电极定义该电容式超音波换能装置的有效振荡区域，且定义该有效振荡区域的第一电极及第二电极的个别长度实质上相同。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 超音波 装置 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种电容式超音波换能装置，其特征是包含：导电基板；绝缘层，其形成于该导电基板上；支撑框架，其形成于该绝缘层上；以及导电层，其通过该支撑框架与该导电基板隔开而具有实质上与该支撑框架相同的热膨胀系数。
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