[发明专利]微波离子源有效
| 申请号： | 200610145857.8 | 申请日： | 2006-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN1945782A | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 崔保群;蒋渭生;李立强;马鹰俊;姜冲;唐兵;马瑞刚 | 申请（专利权）人： | 中国原子能科学研究院 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;H01J37/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102413*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微波离子源的新结构。在该结构中，波导采用单脊设计，用金属材料制成，通过冷却水强制冷却，脊厚度超过微波耦合窗板的中心，且波导脊的端面与微波耦合窗紧密贴合。这一些的独特设计，使微波离子源从根本上避免了高能返流二次电子束对微波耦合窗板的破坏，使微波离子源真正成为有超长寿命的离子源。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 离子源 | ||
【主权项】：
1.一种微波离子源，包括波导(2)、放电室(6)、励磁线圈(4)、真空室(9)、加速电极(10)等几部分，其中波导(2)通过微波耦合窗(5)同放电室(6)一端相连，放电室(6)周围缠绕励磁线圈(4)，另一端的离子出口(8)与真空室(9)相通，在离子束引出的通道上设置加速电极(10)，其特征在于：所述的波导(2)为金属材料制成的单脊波导，脊厚度超过微波耦合窗板(5)的中心，并与微波耦合窗板(5)紧密贴合。
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